중국 상하이마이크로일렉트로닉스(SMEE)가 28나노(10억분의 1m) 노광장비를 개발했다. SMEE는 중국 내에서 중국판 ASML이라 불리는 노광장비 제작 업체다.

관영 글로벌 타임스는 1일 중국 증권일보를 인용, SMEE이 올 연말 28나노 노광장비 'SSA/800-10W'를 출시한다고 보도했다. 노광장비 출시는 중국 반도체 산업의 큰 도약을 의미한다고 글로벌 타임스는 의미를 부였다.

중국 반도체 전문가 장훙은 글로벌 타임스에 "28나노 노광장비는 중국 반도체 산업에 큰 돌파구가 될 것"이며 "업계의 요구사항을 충족시킬 수 있는 반도체 칩이 생산될 것"이라고 말했다.

SMEE는 2002년 설립된 회사로 중국 내 최고의 반도체 장비를 생산하는 기업으로 꼽힌다. 중국 내 시장 점유율은 80%에 달한다.

하지만 현재까지 알려진 SMEE의 기술력은 90나노 노광장비 수준이다. SMEE 웹사이트에도 90nm 노광장비를 개발했다고 밝히고 있다. 90나노 노광장비는 저가형 칩을 만들 때 사용된다.

노광장비는 극자외선을 웨이퍼에 비춰 미세한 회로를 새겨넣을 때 쓰는 장비다. 통상 14나노를 기준으로 그 이하는 미세공정, 그 이상은 성숙 공정으로 구분된다. 상용화 경쟁이 본격화된 7나노 이하 미세공정 반도체 제품 생산과는 아직 거리가 멀지만 28나노 개발 성공은 중국 반도체 산업이 한단계 도약할 수 있는 기반을 마련했다는 점에서 의미가 있다.

글로벌 타임스는 미국이 중국의 반도체 산업 발전을 억제하기 위해 네덜란드 정부에 첨단 반도체 장비 수출을 제한하도록 했고, 9월부터 수출통제를 받는다고 전했다. 일본도 지난달 23일부터 노광 및 세정 장비 등 23개 품목에 대해 개별 허가 절차를 밟도록 했다.

글로벌 타임스는 이와 관련 ASML도 장비 부품의 대부분을 글로벌 공급망에서 소싱하고 있다면서 반도체는 한 국가에서 자급자족할 수 없다고 지적했다. 글로벌 공급망에서 중국을 제외해서는 안 된다는 것이다. 

중국 관영 매체들이 SMEE의 28나노 노광장비 자체 개발 및 연말 출시에 대해 보도하고 있지만 SMEE는 아직 이에 대한 공식 입장을 밝히지 않고 있다.