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中딩룽신소재, 연간 300만t 규모 포토레지스트 공장 완공
중국 반도체 소재기업인 딩룽신소재가 포토레지스트 양산을 시작했다. 24일 중국 반도체 업계에 따르면 딩룽구펀의 자회사인 딩룽신소재가 포토레지스트 공장을 완공하고 본격적인 양산에 들어갔다. 이번에 완공된 공장에서는 KrF(크립톤 플루오라이드) 포토레지스트와 ArF(아르곤 플루오라이드) 포토레지스트를 생산하는 것으로 전해졌다. 생산 규모는 연간 연간 300t이다. 특히 이번에 완공된 공장은 포토레지스트 생산 전 공정을 국산화했다. 딩룽신소재는 생산한 제품을 테스트하는 장비까지 갖췄다. 또 딩룽신소재는 핵심 원재료 공급 문제도 해결했다. 회사는 유기합성 및 고분자합성 생산라인을 자체 구축해 핵심 수지, 특수 단량체, 광산발생제(PAG) 등 주요 원재료를 자급할 수 있는 시스템을 구축했다. 이를 통해 고급 포토레지스트 원재료의 수급 불안 문제를 해결한 것으로 전해지고 있다. 중국 증권시보는 이와 관련 "포토레지스트 생산 전체 공정을 아우르는 공장이 완공돼 양산을 시작한 것은 딩룽신소재가 처음"이라고 전했다. 포토레지스트는 반도체 제조공정 중 핵심인 노광공정에서 사용되는 반도체 소재다. 노광기가 회로패턴을 그리기 위해 웨이퍼 위에 발라지는 물질이다. KrF 포토레지스


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