왕원타오(王文濤) 중국 국무원 상무부장(장관)이 27일 제프리 반 리우웬(Geoffrey van Leeuwen) 네덜란드 국제통상·개발협력장관과 만나 ASML의 포토레지스트리(노광기) 수출에 대해 논의했다. 

왕 부장은 베이징에서 반 리우웬 장관을 만나 노광기 중국 수출과 반도체 산업 협력 강화 등의 의제에 대해 심도 있는 의견을 교환했다고 중국 상무부가 28일 전했다. 회담에는 링지(凌激) 상무부 부부장이 배석했다. 

핵심의제는 단연 ASML의 노광기 수출 문제였다. 미국의 대중국 반도체 제재에 부응해 네덜란드는 지난 2019년 ASML의 최첨단 EUV(극자외선) 노광기의 중국 수출을 금지시켰다. 이어 네덜란드는 지난해 9월부터 EUV보다 한단계 낮은 단계인 DUV(심자외선) 장비 수출시 정부 허가를 받도록 하는 조치를 시행했다. 다만 지난해 연말까지 유예기간을 뒀다.

왕 부장은 "중국은 네덜란드를 신뢰할 수 있는 경제 파트너로 여기고 있으며, 네덜란드가 계약정신을 준수해 기업의 계약의무 이행을 지지하며, 노광기의 정상적인 무역을 보장할 것을 희망한다"며 "공동으로 반도체 공급망 안정을 유지하고, 양국간 경제무역 관계의 지속가능한 발전을 촉진해 나가자"고 말했다. 

반 리우웬 장관은 "네덜란드는 계속해서 중국의 신뢰할 수 있는 협력 파트너가 되기를 희망한다"며 "네덜란드의 수출 통제는 특정 국가를 대상으로 하지 않으며, 결정은 독립적인 평가를 기반으로 하고, 글로벌 반도체 공급망에 대한 영향을 최대한 줄이기 위한 노력을 하고 있다"고 답했다. 

현재 네덜란드 ASML의 대중국 DUV 노광기 수출은 여전히 진행되고 있지만 네덜란드가 언제 노광기 중국 수출을 금지할지는 알 수 없는 상황이다. 중국측은 지속적인 노광기 구입과 애프터서비스(AS)가 절박한 상황이다.

한편, 중국은 지난 1월 네덜란드로부터 20대의 노광기를 수입했다. 금액은 전년대비 522% 증가한 6억6600만 달러에 달했다. 전월 수입금액에 비해서는 41% 감소했다. 이어 2월에는 12대를 수입했으며 금액은 전달대비 41.4% 감소한 3억9000만 달러였다. 

중국의 네덜란드 노광기 수입은 지난해 5월부터 급증했다. 네덜란드의 금수조치에 대응해 중국의 반도체기업들이 ASML로부터 DUV 노광기 사재기를 한 영향이다.